1.外觀檢查法。如果真空滅弧室為玻璃外殼，真空開關(guān)真空度測(cè)試儀可以根據(jù)涂在內(nèi)壁上的鋇吸氣劑薄膜顏色判斷，如果真空度良好，則薄膜為鏡面狀態(tài)；真空度較差時(shí)為乳白色。該方法不十分準(zhǔn)確，但可供參考。

2.工頻耐壓法。在分閘狀態(tài)時(shí)，在斷口間加工頻試驗(yàn)電壓，在工頻耐壓電壓下能耐受10s以上，則說明真空度良好。如果在電壓升高過程中，電流也增大，超過5A則認(rèn)為不合格。當(dāng)然在耐壓過程中擊穿也不合格。

3.磁控放電法。采用專門測(cè)試儀器來測(cè)量法，在觸頭之間加一次或數(shù)次高壓脈沖，脈沖寬度為數(shù)十至數(shù)百毫秒，磁場(chǎng)線圈中則通以同步脈沖電流，產(chǎn)生與高壓、同的脈沖磁場(chǎng)測(cè)量真空度。

相關(guān)國家規(guī)定真空度達(dá)到0.066Pa為合格，接近或低于0.6時(shí)為不合格，應(yīng)更新。當(dāng)真空度有大幅度下降而不合格時(shí)，應(yīng)縮短測(cè)試周期，根據(jù)發(fā)展情況決定是否更新。

4.專門的真空度測(cè)試儀測(cè)量。目前，由于科技的發(fā)展，對(duì)真空斷路器制造出多種型號(hào)的整套測(cè)量儀器，并實(shí)現(xiàn)了現(xiàn)場(chǎng)不拆卸定量測(cè)量。有了定量測(cè)量的手段，不僅可以測(cè)量真空開關(guān)真空度是否在正常范圍內(nèi)，同時(shí)更重要的是，對(duì)某些泄漏速度較快的真空開關(guān)，通過歷年測(cè)量結(jié)果相比較，可以大致推斷它的壽命，真正起到預(yù)防意外事故發(fā)生的目的。如真空開關(guān)真空度測(cè)試儀適合各種高壓斷路器真空度的測(cè)量，可定量測(cè)量各種型號(hào)真空開關(guān)滅弧室內(nèi)的真空度。